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Loadport设备

  • Loadport设备

    2025 - 06 - 27

    在半导体制造过程中,Loadport设备作为晶圆装载和卸载的关键接口,直接影响生产效率和良率。随着半导体工艺的不断升级,客户对Loadport设备的精度、兼容性、通信能力及操作效率提出了更高要求。传统采用“上位机+PLC”架构的控制系统已难以满足现代智能制造的需求,亟需更高效、更智能的解决方案。

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