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薄膜沉积设备

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薄膜沉积设备

2024-10-10

薄膜沉积设备负责各工艺步骤中的介质层与金属层的沉积。按照沉积工艺不同，薄膜沉积设备分为CVD设备PVD设备和ALD设备。其控制系统具有多点温度控制、多轴运动控制、数据追踪分析等需求。

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