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Loadport设备
2025 - 06 - 27在半导体制造过程中,Loadport设备作为晶圆装载和卸载的关键接口,直接影响生产效率和良率。随着半导体工艺的不断升级,客户对Loadport设备的精度、兼容性、通信能力及操作效率提出了更高要求。传统采用“上位机+PLC”架构的控制系统已难以满足现代智能制造的需求,亟需更高效、更智能的解决方案。
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双腔ALD原子沉积系统
2024 - 10 - 23原子层沉积技术(ALD)是一种一层一层原子级生长的薄膜制备技术。理想的 ALD 生长过程,通过选择性交替,把不同的前驱体暴露于基片的表面,在表面化学吸附并反应形成沉积薄膜。