OHT天车设备

行业案例背景

半导体OHT（Overhead Hoist Transport）设备是半导体制造流程中的核心自动化搬运系统，它通过高架轨道实现了晶圆、芯片等关键物料的智能化运输。这一设备不仅可以提升生产效率，还有效节省生产空间，降低成本，为整个生产线的自动化集成提供坚实基础。然而，随着半导体制造业的快速发展，OHT设备在控制系统方面面临着一系列新的挑战和需求。

设备控制系统难点

• 双驱动力机构：前驱伺服速度模式+后驱扭力模式，需动态协同控制；
• 无线稳定性：OHT车载与上位机调度系统以及车载控制Web界面之间的无线通讯必须稳定可靠。
• 精确定位：OHT车载需精确识别并定位每一个工站，确保物料搬运的准确性；同时，结合CCD二次扫描与雷达检测，确保工站对接高度精准。
• 高安全等级：双雷达扫描+异物检测实现紧急停止；

场景架构图

中科时代解决方案特点

1、算控一体

中科时代解决方案减少了控制系统的硬件数量，可节省30%的硬件成本；

2、易用开放

• 多协议支持：SX51系列工智机内置EtherCAT、CAN、Modbus TCP等主流协议，自由配置网口通讯的同时，可保证通讯的稳定性；

• 视觉集成：客户开发的CCD与软PLC通过共享内存或ACP通信，在项目相同数据的支持测试下，中科时代方案比设备原方案Modbus TCP通讯速率上提高了30%。

3、安全增强

每个车载有独立的程序，独立的检测系统。雷达检测到异常，车载本体自动停止。不需要把信号转给调度系统，调度系统在控制车载停止。