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单晶炉智能拉晶系统

行业应用

单晶炉智能拉晶系统

2024-10-10

单晶炉智能拉晶系统

单晶炉自控行业前三某系统供应商设计的智能一键拉晶系统,基于中科时代算控一体的工智机SP7020H开发的高智能视觉检测算法,是为硅单晶硅生长炉打造的新一代智能长晶系统,可实现一键拉晶功能,通过AI模型、深度学习算法等。对单晶硅生产过程的图像进行识别检测,并结合单晶炉控制系统根据工艺场景进行特殊的工艺算法,对长晶过程重点难点的关键技术环节实现自动判断及处理,较传统系统具备更智能化、自动化、高效性、高精度、高稳定性、高安全防护等优点。

 

单晶炉智能拉晶系统控制系统难点:

 

1、控制工艺复杂

2、测、控联动速率要求高

3、视觉检测算法复杂

 

系统架构图:

 

单晶硅炉.png

 

中科时代方案特点:

 

1、算控一体

 

-一台SP70工智机替代原上位工控机+PLC,减少硬件设备,降低成本约30%。

-上位软件与软PLC间通过共享内存或ACP进行数据通讯,有效提升了数据交互速度。

-采用虚拟化技术,Windows蓝屏或重启不影响实时任务的运行。

 

2、易用开放

 

-上位软件与实时侧通过共享内存进行数据通讯,有效提升了数据交互速度。

-直径偏差从±0.7%提升至±0.5%,部分批次可以达到±0.3%,极大提升产品质量