0102030405
单晶炉智能拉晶系统
2024-10-10
单晶炉智能拉晶系统
单晶炉自控行业前三某系统供应商设计的智能一键拉晶系统,基于中科时代算控一体的工智机SP7020H开发的高智能视觉检测算法,是为硅单晶硅生长炉打造的新一代智能长晶系统,可实现一键拉晶功能,通过AI模型、深度学习算法等。对单晶硅生产过程的图像进行识别检测,并结合单晶炉控制系统根据工艺场景进行特殊的工艺算法,对长晶过程重点难点的关键技术环节实现自动判断及处理,较传统系统具备更智能化、自动化、高效性、高精度、高稳定性、高安全防护等优点。
单晶炉智能拉晶系统控制系统难点:
1、控制工艺复杂
2、测、控联动速率要求高
3、视觉检测算法复杂
系统架构图:
中科时代方案特点:
1、算控一体
-一台SP70工智机替代原上位工控机+PLC,减少硬件设备,降低成本约30%。
-上位软件与软PLC间通过共享内存或ACP进行数据通讯,有效提升了数据交互速度。
-采用虚拟化技术,Windows蓝屏或重启不影响实时任务的运行。
2、易用开放
-上位软件与实时侧通过共享内存进行数据通讯,有效提升了数据交互速度。
-直径偏差从±0.7%提升至±0.5%,部分批次可以达到±0.3%,极大提升产品质量